Proton
Pada tahun 1886, Eugene Goldstein melakukan percobaan dengan tabung sinar katoda. Pada percobaan tersebut, terdapat seberkas sinar yang melewati lubang katode dan bergerak dari anode. Sinar itu disebut sinar terusan atau sinar anode yang bermuatan positif. Selanjutnya pada tahun 1906, Rutherford menghitung massa partikel bermuatan positif tersebut yaitu sekitar 1837 kali massa elektron. Pada tahun 1919 partikel bermuatan positif tersebut dinamakan proton.Elektron
Elektron ditemukan oleh J. J. Thomson pada tahun 1897 dengan melakukan eksperimen dengan mengamati dua pelat elektrode dalam tabung katode. Ketika dua pelat tersebut dihubungkan dengan sumber tegangan tinggi, kemudian dialirkan sinar dari elektrode negatif (katode) menuju elektrode positif (anode). Thomson menyimpulkan bahwa sinar katode yang dibelokkan oleh muatan listrik ke arah positif adalah partikel yang bermuatan negatif. Partikel ini disebut dengan elektron
Neutron
Pada tahun 1932, James Chadwick melakukan eksperimen dengan cara menembaki atom Berilium (Be) dengan sinar alfa (α). Dari hasil percobaannya terdeteksi adanya partikel yang bermuatan dan mempunyai massa hampir sama dengan proton. Karena sifatnya netral partikel tersebut diberi nama neutron
